
功能介紹:
將掃描電鏡與等離子體聚焦離子束(PFIB) 結(jié)合,配備4種高性能等離子體離子源,對樣品進(jìn)行高分辨觀察的同時(shí),還可以進(jìn)行面積大于50u㎡的選區(qū)離子束切割與拋光,并可通過Auto Slice & View軟件進(jìn)行自動選區(qū)拋光與圖像收集(電子斷層掃描)。
儀器特點(diǎn):
(1)多離子源等離子體FIB:Hydra CX使用等離子體離子源,配備了四種可快速切換的離子源(Xe, Ar, O, N)。
(2)大束流高通量:提供卓越的大束流性能,遠(yuǎn)超傳統(tǒng)Ga離子源(通常為幾十nA),可快速加工大體積材料,實(shí)現(xiàn)高效的三維重構(gòu)和截面分析。
(3)智能化與自動化軟件:配備Auto Slice & View等軟件。這些軟件能實(shí)現(xiàn)多位點(diǎn)、可重復(fù)的自動化操作,大幅提升復(fù)雜實(shí)驗(yàn)的效率和成功率。
管理規(guī)定:
初次使用者請與平臺相關(guān)人員聯(lián)系,請不要擅自使用儀器。該儀器屬于精密儀器,未通過考核者使用需在平臺管理人員參與下進(jìn)行。
所在位置:
漕寶路500號4號樓
儀器管理員與聯(lián)系方式:
叫??瑋 wjiao@sinh.ac.cn
王露露 llwang@sinh.ac.cn